是由中國(guó)科學(xué)院大連化物所多年從事氣體純化領(lǐng)域的專家教授,聯(lián)合成立的國(guó)家高新技術(shù)企業(yè),注冊(cè)資金2000萬元。
公司主要生產(chǎn):超純氣體純化器;催化劑、吸附劑、Getter;超純氣體現(xiàn)場(chǎng)供應(yīng)及運(yùn)營(yíng)管理;PSA裝置;工業(yè)尾氣回收裝置。其中N2、H2、O2、Ar、He等產(chǎn)氣純度達(dá)到9N,單項(xiàng)雜質(zhì)脫除至0.1ppb。
公司擁有研發(fā)中心和分析測(cè)試中心,獲得多項(xiàng)相關(guān)發(fā)明及實(shí)用新型專利。
目前公司的超純氣體純化器廣泛用于半導(dǎo)體、大規(guī)模集成電路、MAMS、LED、TFT、單晶硅多晶硅及硅外延、光伏太陽能、冶金、石化、碳化硅、氮化鎵以及科研開發(fā)等多個(gè)行業(yè)領(lǐng)域近千家單位。