適用于電子半導(dǎo)體、大規(guī)模集成電路、MAMS、單晶硅多晶硅及硅外延、LED、TFT、氮化鎵、碳化硅、科研開發(fā)、實驗分析等。
● 適用于氮?dú)?、氫氣、氧氣、氬氣、氦氣和氨氣,原料氣不低?9.999%
● 深度脫除雜質(zhì)O2、H2O、CO、CO2、H2、N2、CH4和NMHC至1ppb/10ppb
● 雙塔交替吸附再生,單塔催化,終端Getter吸附,全自動連續(xù)運(yùn)行
● EP級拋光不銹鋼管件
● 配置0.003μm過濾器,去除率可達(dá)99.999999% /99.99999%
● 西門子 PLC 可接入DCS系統(tǒng)
● 安全報警功能完善
● 可提供遠(yuǎn)程云服務(wù)
● 超凈環(huán)境中生產(chǎn)組裝
● 氣體處理量10-20000Nm3/h