●實(shí)驗(yàn)分析 、科研開發(fā)
●集成電路制造 、MAMS
●單晶硅、多晶硅及硅外延
●LED、TFT
●氮化鎵、碳化硅等
●氣體吹掃、焊接
●氨氣純化器應(yīng)用于科研院校
●小型終端氫氣純化器應(yīng)用于高科技儀器公司
●常溫使用
●重復(fù)再生
●雜質(zhì)脫除深度高
●內(nèi)置微米過濾器，獨(dú)特結(jié)構(gòu)， 防止堵塞
●可根據(jù)用戶需要定制各種型號
●使用成本低
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8NP系列常規(guī)型號一覽表 |
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適用氣體 |
N2、H2、O2、Ar、He、NH3、SiH4、HCL |
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|
處理量 |
5 |
10 |
20 |
30 |
50 |
100 |
150 |
200 |
300 |
500 |
800 |
1000 |
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|
長度 |
120 |
150 |
225 |
220 |
200 |
385 |
465 |
360 |
508 |
760 |
600 |
716 |
|
|
直徑 |
2’ |
2.5’ |
3’ |
4’ |
6’ |
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進(jìn)/出氣口接頭 |
1/4 VCR |
1/2 VCR |
|
使用壓力 |
1.0Mpa |
|
******氣體壓差 |
0.1 Mpa |
|
純化指標(biāo) |
單項(xiàng)雜質(zhì)＜1ppb |
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使用壽命 |
六個(gè)月（返廠再生） |
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? 可根據(jù)客戶要求，定制特殊型號產(chǎn)品。 |
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9NP系列常規(guī)型號一覽表 |
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適用氣體 |
N2、H2、O2、Ar、He、NH3、SiH4、HCL |
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|
處理量 |
5 |
10 |
20 |
30 |
50 |
100 |
150 |
200 |
300 |
500 |
800 |
1000 |
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長度 |
130 |
180 |
275 |
260 |
380 |
500 |
435 |
550 |
780 |
600 |
900 |
1100 |
|
直徑 |
2’ |
2.5’ |
3’ |
4’ |
6’ |
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進(jìn)/出氣口接頭 |
1/4 VCR |
1/2 VCR |
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使用壓力 |
1.0Mpa |
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|
******氣體壓差 |
0.1 Mpa |
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純化指標(biāo) |
單項(xiàng)雜質(zhì)＜0.1ppb |
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使用壽命 |
六個(gè)月（返廠再生） |
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? 可根據(jù)客戶要求，定制特殊型號產(chǎn)品。 |
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